Etching (microfabrication)

Die Einzelschichtätzung ist ein chemisches Verfahren, bei dem Material atom- oder molekularweise abgetragen wird.

Reaktives Ionenätzen ( RIE ) ist eine Ätztechnologie , die in der Mikrofertigung eingesetzt wird . RIE ist eine Form des Trockenätzens und unterscheidet sich in seinen Eigenschaften vom Nassätzen .

Das Wright-Ätzverfahren (auch Wright-Jenkins-Ätzverfahren genannt ) ist ein bevorzugtes Ätzverfahren zur Darstellung von Defekten in <100>- und <111>-orientierten p- und n-dotierten Siliziumwafern , die zur Herstellung