Extreme ultraviolet

Extreme ultraviolette Strahlung ( EUV oder XUV ) bzw. hochenergetische ultraviolette Strahlung ist elektromagnetische Strahlung im Bereich des elektromagnetischen Spektrums, der Wellenlängen unterhalb der Lyman-α-Linie

Die extreme Ultraviolett-Lithografie ( EUVL oder kurz EUV ) ist eine Technologie, die in der Halbleiterindustrie zur Herstellung integrierter Schaltungen (ICs) eingesetzt wird.