ASM International NV ( ASM steht für Advanced Semiconductor Materials ) ist ein niederländischer multinationaler Konzern , der Anlagen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen entwickelt, fertigt, vertreibt und wartet . Seine Produkte werden von Halbleiterherstellern in Produktionsanlagen für Prozesse wie Atomlagenabscheidung , Epitaxie , chemische Gasphasenabscheidung und Diffusion eingesetzt . [ 1 ]

Das Unternehmen wurde 1964 von Arthur del Prado (1931–2016) gegründet. [ 2 ] Von 2008 bis 2020 war sein Sohn Chuck del Prado CEO . ASM leistete Pionierarbeit bei wichtigen Aspekten vieler etablierter Wafer-Bearbeitungstechnologien, die in der Industrie Anwendung finden, darunter Lithografie , Abscheidung , Ionenimplantation , Einzelwafer- Epitaxie und in den letzten Jahren Atomlagenabscheidung . Die Halbleiteranlagenhersteller ASML , ASM Pacific Technology (ASMPT) und Besi sind ehemalige Geschäftsbereiche von ASM. [ 2 ] [ 3 ]

Der Hauptsitz von ASM befindet sich in Almere , Niederlande. Das Unternehmen unterhält Forschungs- und Entwicklungsstandorte in Almere (Niederlande), Helsinki (Finnland), Leuven (Belgien, in der Nähe des IMEC ), Phoenix (Arizona), Tama (Japan) und Dongtan ( Südkorea ). Die Produktion findet hauptsächlich in Singapur und Dongtan ( Südkorea ) statt. ASM verfügt zudem über Vertriebs- und Servicebüros weltweit, unter anderem in den USA , Südkorea , China , Taiwan , Japan , Singapur und Israel . Im Jahr 2021 beschäftigte das Unternehmen 3.312 Mitarbeiter in 14 Ländern. [ 1 ]

Die Aktien des Unternehmens sind an der Euronext Amsterdam notiert. Im März 2020 wurde ASM in den AEX-Index aufgenommen . [ 4 ] ASM hält eine Minderheitsbeteiligung an ASM Pacific Technology , einem in Hongkong ansässigen Unternehmen, das in den Bereichen Halbleitermontage, -verpackung und Oberflächenmontagetechnik tätig ist .

Technologie

Zur Herstellung eines Halbleiterchips werden zahlreiche Einzelschritte mit verschiedenen Waferbearbeitungsanlagen durchgeführt . Dazu gehören die Fotolithografie , das Abscheiden dünner Schichten, das Ätzen zur Materialabtragung, Wärmebehandlungen und weitere Schritte. Die Systeme von ASM sind für Abscheidungsprozesse ausgelegt, bei denen dünne Schichten verschiedener Materialien auf dem Wafer aufgebracht werden. Um alle für die Chipherstellung notwendigen Prozessschritte abzuschließen, werden zahlreiche Dünnschichtschichten abgeschieden.

Die Technologieentwicklung von ASM wird vom Ziel ihrer Kunden angetrieben, schnellere, kostengünstigere und leistungsfähigere Halbleiterchips mit reduziertem Energieverbrauch herzustellen. Dieses Ziel erfordert die Miniaturisierung der Chipkomponenten mit dem Ziel , die Anzahl der Komponenten pro Flächeneinheit alle zwei Jahre zu verdoppeln ( Mooresches Gesetz ). Im Zuge dieser Miniaturisierung liefert ASM seinen Kunden – Chipherstellern – Maschinen, die immer dünnere Schichten von Halbleitermaterialien abscheiden . ASM entwickelt außerdem Abscheidungsprozesse für neue Materialien, die in der Halbleiterfertigung eingesetzt werden sollen.

In den letzten 15 Jahren wurde eine zunehmende Anzahl neuer Materialien in die Chipherstellung eingeführt. [ 5 ] Diese neuen Materialien waren erforderlich, um die im Mooreschen Gesetz beschriebenen Leistungsverbesserungen von Chips zu erzielen. Beispielsweise wurde 2007 in einem MOSFET- Transistor das Siliziumoxid-Gate -Dielektrikum durch ein Material mit hoher Dielektrizitätskonstante (High-κ) ersetzt . In diesem Fall leistete ASM Pionierarbeit mit dem chemischen Prozess und dem neuen Abscheidungsverfahren namens Atomlagenabscheidung (ALD) nach fast einem Jahrzehnt Forschung und Entwicklung. [ 6 ] [ 7 ] Darüber hinaus sind immer präzisere Abscheidungsverfahren erforderlich, da sich die Bauelemente auf einem Chip, wie z. B. Transistoren, in den letzten zehn Jahren von planaren zu dreidimensionalen Strukturen wie FinFETs weiterentwickelt haben . [ 8 ] ASM ist führend in der Einzelwafer-Atomlagenabscheidung (ALD). [ 7 ]

Forschung

ASM bietet verschiedene Verfahren und zugehörige Maschinen zur Abscheidung dieser dünnen Materialschichten an. Das Unternehmen ist bestrebt, die Anwendbarkeit seiner Abscheidungstechnologien und -maschinen so weit wie möglich zu erweitern. [ 9 ] Forschung und Entwicklung spielen dabei eine entscheidende Rolle. Im Jahr 2021 investierte das Unternehmen 151 Millionen Euro in Forschung und Entwicklung (entsprechend 9 % seines Jahresumsatzes). [ 1 ] Die Forschungs- und Entwicklungsaktivitäten reichen von der Grundlagenforschung an neuen Materialien bis hin zu deren Anwendung in der Chipfertigung.

Produkte

ASM entwickelt und vertreibt sowohl Einzelwafer-Beschichtungsanlagen, bei denen der Prozess jeweils auf einem Wafer durchgeführt wird , als auch sogenannte Batch- Anlagen, bei denen die Beschichtung auf mehreren Wafern gleichzeitig erfolgt. Die Preise der Systeme des Unternehmens variieren, liegen aber typischerweise im zweistelligen Millionen- Euro- Bereich pro System. Die Produkte von ASM lassen sich nach dem Beschichtungsverfahren kategorisieren:

Die Atomlagenabscheidung (ALD) ist ein Schicht-für-Schicht-Verfahren, bei dem dünne Schichten Atom für Atom hochpräzise abgeschieden werden. Die Schichten entstehen während Reaktionszyklen durch abwechselndes Zuführen von Vorläufer- und Reaktantenpulsen und Spülen mit Inertgas zwischen den Pulsen. ASM bietet Einzelwafer-ALD-Anlagen in zwei Technologiesegmenten an: thermische ALD und plasmaverstärkte ALD (PEALD). Zu den ALD-Anlagen von ASM gehören Synergis, Pulsar und EmerALD. Die PEALD-Anlagen umfassen Eagle XP8 und XP8 QCM. [ 1 ]

Epitaxie ist ein Verfahren zur Abscheidung präzise kontrollierter, kristalliner Siliziumschichten, die für die elektrischen Eigenschaften von Halbleiterbauelementen von Bedeutung sind. Mithilfe der Siliziumepitaxie lassen sich die elektrischen Eigenschaften der Waferoberfläche modifizieren, um während der Halbleiterchip-Herstellung Hochleistungstransistoren zu erzeugen. Die Epitaxieanlagen von ASM sind Einzelwaferanlagen und umfassen die Modelle Intrepid und Epsilon. [ 1 ]

Die chemische Gasphasenabscheidung (CVD) ist ein chemisches Abscheidungsverfahren, bei dem der Wafer einem oder mehreren flüchtigen Vorläuferstoffen ausgesetzt wird, die auf der Substratoberfläche reagieren und/oder sich zersetzen , um den gewünschten Film zu erzeugen. ASM bietet im Bereich der CVD zwei Anlagentypen an: die plasmaverstärkte CVD (PECVD) für Einzelwafer und die Niederdruck-CVD (LPCVD) für Batch-Prozesse. ASM bietet PECVD-Prozesse für Einzelwafer auf der Dragon XP8-Anlage an. LPCVD-Prozesse für Batch-Prozesse werden auf dem Vertikalofen A400 DUO und den neuen Sonora-Anlagen von ASM durchgeführt. [ 1 ]

Geschichte

1960er Jahre : 1964 gründete Arthur del Prado in Bilthoven, Niederlande, die Firma ASM unter dem Namen „Advanced Semiconductor Materials“. [ 10 ] Anfangs agierte das Unternehmen als Vertriebsagentur für Halbleiterfertigungstechnologie in Europa. 1968 wurde es offiziell als private Gesellschaft mit beschränkter Haftung eingetragen.

1970er Jahre : ASM beginnt mit der Entwicklung, Herstellung und dem Vertrieb von Anlagen zur chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) . [ 9 ] 1974 übernimmt das Unternehmen Fico Toolings, einen niederländischen Hersteller von Halbleiterformen . 1975 wird eine Vertriebsniederlassung in Hongkong , ASM Asia (heute ASM Pacific Technology), gegründet. 1976 wird ASM America in Phoenix, Arizona , gegründet. Der Verkauf der horizontalen Plasma-CVD- Anlagen von ASM treibt das Wachstum des Unternehmens voran.

1980er Jahre : Nach dem Börsengang an der Nasdaq im Mai 1981 expandiert das Unternehmen. 1982 wird ASM Japan gegründet. [ 2 ] ASM investiert in neue Halbleiterfertigungstechnologien wie Lithografie, Ionenimplantation, Epitaxie und Drahtbonden . 1988 veräußert das Unternehmen ASML Holding NV und ASM Ion Implant und notiert seine Aktivitäten in Hongkong 1989 unter dem Namen ASM Pacific Technology an der Hongkonger Börse .

1990er Jahre : Zwischen 1991 und 1994 wurde das Unternehmen umfassend reorganisiert. [ 3 ] 1993 veräußerte ASM die ASM Fico an die Berliner Electro Holding, die heute als Besi bekannt ist . ASM konzentrierte sich fortan auf vertikale Niederdruck-CVD-Öfen (Vertical Low-Pressure Chemical Vapor Deposition ) durch ASM Europe, plasmaverstärkte CVD-Verfahren (Plasma-Energy Chemical Vapor Deposition) für Einzelwafer durch ASM Japan und Einzelwafer- Epitaxie durch ASM America. Seit 1996 ist das Unternehmen auch an der Euronext Amsterdam notiert . ASM behielt die Mehrheitsbeteiligung an ASM Pacific Technology.

2000er Jahre : ASM expandiert erneut mit Investitionen in 300-mm -Wafer- Technologie und Atomlagenabscheidung (ALD) . 2007 gelingt dem Unternehmen der erfolgreiche Übergang der ALD-Technologie von der Forschung und Entwicklung zur Serienproduktion durch die Anwendung von High-κ- Metallgates . [ 7 ] Gleichzeitig hinterfragen Hedgefonds die Beteiligung des Unternehmens an ASM Pacific Technology. [ 11 ] 2008 wird Arthur del Prados Sohn Chuck del Prado als CEO abgelöst. [ 10 ] 2009 wird der Hauptsitz von Bilthoven nach Almere in den Niederlanden verlegt .

2010er Jahre : Nach der Durchführung eines weltweiten Restrukturierungsprogramms, das die Implementierung einer produktorientierten Organisation, einer einheitlichen globalen Vertriebsorganisation, die Konsolidierung der Fertigung in Singapur und den Aufbau einer globalen Organisation für Personalwesen , Finanzen , IT , operative Exzellenz sowie Umwelt, Gesundheit und Sicherheit umfasste, kehrte das Unternehmen in die strukturelle Profitabilität zurück. Die Anwendung der plasmaverstärkten Atomlagenabscheidung (PLD) für Mehrfachstrukturierung und High-κ -Metallgates treibt das Wachstum von ASM voran. [ 6 ] [ 7 ] Weitere Produkte umfassen Epitaxie, PECVD und Vertikalöfen. Die Beteiligung an ASM Pacific Technology wurde auf 25 % reduziert.

2020er Jahre : Im Jahr 2020 wurde das Unternehmen an der Euronext in den AEX-Index aufgenommen , der die 25 größten an der Euronext Amsterdam notierten Unternehmen umfasst. [ 4 ] Im selben Jahr trat Chuck del Prado nach zwölf Jahren als CEO zurück; sein Nachfolger wurde Benjamin Loh. Zwischen 2020 und 2022 erneuerte ASM seine Produktlinie vertikaler Öfen mit den Modellen A400DUO (200-mm-Wafer) und Sonora (300-mm-Wafer).

Finanzen

Einnahmen

ASM vertreibt seine Anlagen an Halbleiterhersteller weltweit, wobei der Großteil des Umsatzes mit asiatischen Kunden erzielt wird. Im Jahr 2021 stammten 1,41 Milliarden Euro des Gesamtumsatzes von 1,73 Milliarden Euro aus dem Anlagenverkauf, der Rest aus Ersatzteilen und Serviceleistungen.

Jahr Einnahmen Gewinn/Verlust
2013 Verringern452 Millionen Euro Zunahme106 Millionen Euro
2014 Zunahme602 Millionen Euro Zunahme141 Millionen Euro
2015 Zunahme670 Millionen Euro Zunahme157 Millionen Euro
2016 Verringern598 Millionen Euro Verringern135 Millionen Euro
2017 Zunahme737 Millionen Euro Zunahme452 Millionen Euro
2018 Zunahme818 Millionen Euro Verringern157 Millionen Euro
2019 Zunahme1,28 Milliarden Euro Zunahme329 Millionen Euro
2020 Zunahme1,33 Milliarden Euro Verringern285,4 Millionen Euro
2021 Zunahme1,73 Milliarden Euro Zunahme494,7 Millionen Euro

Marktkapitalisierung

Die Aktien von ASM werden seit 1996 an der Euronext gehandelt. Seit März 2020 ist ASM im AEX-Index enthalten . [ 4 ] Die Marktkapitalisierung von ASM Pacific Technology wird nicht mehr konsolidiert, nachdem der Anteil von ASM an ASM Pacific Technology im Jahr 2013 auf 25 Prozent gesunken ist. Zwischen 1981 und 2015 war ASM auch an der Nasdaq notiert .

Im Jahr 2018 lag der durchschnittliche Aktienkurs bei 48,62 €, was einer durchschnittlichen Marktkapitalisierung von 2,53 Milliarden Euro entspricht . 2019 betrug der durchschnittliche Schlusskurs 68,98 €, was einer durchschnittlichen Marktkapitalisierung von 3,38 Milliarden Euro entspricht. [ 12 ] Die Marktkapitalisierung zum Jahresende 2021 belief sich auf 18,88 Milliarden Euro, basierend auf dem Schlusskurs der Aktie von 388,70 € an der Euronext Amsterdam am 31. Dezember 2021.

Referenzen

  1. ^ a b c d e f g h i j k l „Jahresbericht 2021“ (PDF) . Annreports.com . Abgerufen am 31. Januar 2023 .
  2. ^ a b c „Eine Hommage an Arthur del Prado – Vater der europäischen Maschinenbauindustrie“ . vlsiresearch.com . Abgerufen am 5. Juni 2020 .
  3. ^ a b „Kapitel 24 – Der einzige Weg führt nach oben, 1994–1996“ (PDF) . techwatchbooks.nl . Abgerufen am 5. Juni 2020 .
  4. ^ a b c „Just Eat Takeaway wieder im AEX-Index“ . mbs.news . Archiviert vom Original am 18. Juni 2020. Abgerufen am 5. Juni 2020 .
  5. ^ „In der Elektronikindustrie stehen die Materialien im Mittelpunkt . “ C&EN . Abgerufen am 8. Juli 2020 .
  6. ^ a b „Wenn sich Beharrlichkeit auszahlt: Warum ASMI so erfolgreich ist“ . bits-chips.nl . Abgerufen am 5. Juni 2020 .
  7. ^ a b c d „Wie ASMI zum Hauptlieferanten von ALD-Anlagen für die Halbleiterindustrie wurde“ . bits-chips.nl . Abgerufen am 5. Juni 2020 .
  8. ^ „Der Nanosheet-Transistor ist der nächste (und vielleicht letzte) Schritt im Mooreschen Gesetz“ . IEEE Spectrum . Abgerufen am 8. Juli 2020 .
  9. ^ Duijn , Jorijn van (15. Dezember 2019) . „Schicksals der Hightech“ . spiedigitallibrary.org . PM320: 1– 955. doi : 10.1117/3.2572061.sup . S2CID 218880163 . Abgerufen am 5. Juni 2020 . 
  10. ^ a b „Chuck del Prado: Mission completed“ . bits-chips.nl . Abgerufen am 5. Juni 2020 .
  11. ^ Melvin, Tim (29. April 2008). „Aktivisten rütteln erneut an den Vorständen“ . TheStreet . Archiviert vom Original am 22. Mai 2011 – via Yahoo! Finance.
  12. ^ Jahresbericht 2019 (Bericht). Niederländische Finanzmarktaufsicht . Abgerufen am 28. Mai 2020 .